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新型垂直度測(cè)量?jī)x器api XD激光干涉儀

當(dāng)垂直度誤差為10秒時(shí)，兩米的行程上偏差約為: 0.1 MM !

垂直度測(cè)量— 舊的方法
 

因測(cè)量垂直度首先要測(cè)量?jī)奢S的直線度，在傳統(tǒng)干涉儀中測(cè)量組件是在直線度組件的基礎(chǔ)上再加一個(gè)垂直度鏡組構(gòu)成，這樣才可在以一根軸直線度為基準(zhǔn)，測(cè)量出另外一根軸的直線度，從而得出兩軸的垂直度。

因測(cè)量過程中需單獨(dú)調(diào)整的鏡組多達(dá)四個(gè)，光路數(shù)量多達(dá)12條，故調(diào)整十分復(fù)雜艱難。

測(cè)完一軸后，所有鏡子需重新安裝，測(cè)量3軸的垂直度需要安裝3次光學(xué)鏡，調(diào)整3次光路，光路十分復(fù)雜調(diào)整需要很高技巧。

垂直度測(cè)量— API XD的方法


API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測(cè)量的，所以API干涉儀測(cè)兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速。

API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測(cè)量的，所以API干涉儀測(cè)兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速。

APIXD Laser激光干涉儀:

XD Laser激光干涉儀是API公司的產(chǎn)品。一次安裝即可以測(cè)得6個(gè)參數(shù)，包括1個(gè)位置度誤差2個(gè)直線度誤差和3個(gè)角度誤差。通常時(shí)間需數(shù)天進(jìn)行的測(cè)試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成。實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明可節(jié)省時(shí)間高達(dá)80%。該儀器體積小、重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。XD Laser 6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉鏡和6D傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角 反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù)，記錄準(zhǔn)確長(zhǎng)度位置。

XD激光干涉儀的*之處:
.一次安裝可測(cè)6個(gè)參數(shù)
.無線通訊系統(tǒng)
.高集成設(shè)計(jì)締造無可比擬的便攜性
.以太網(wǎng)連接
.自動(dòng)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度補(bǔ)償
.自帶濕度傳感器
.實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)顯示
.快速安裝調(diào)試
.緊湊型激光頭設(shè)計(jì)